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石英管外部加電感線(xiàn)圈，射頻功率加載在線(xiàn)圈上，石英管兩端密封，抽真空，通過(guò)電感耦合方式，射頻功率會(huì )耦合到石英管內部，石英管真空度在10-60帕之間，射頻功率使石英管內部含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。

國內傳統射頻匹配器在應用此類(lèi)設備的過(guò)程中，在管內氣壓或者氣體變化的時(shí)候，匹配器跟蹤會(huì )出現紊亂的情況，導致失配，從而使制程出現異常，我司射頻匹配器采用數字算法，無(wú)論氣壓或者氣體變化，總能夠及時(shí)跟蹤，實(shí)時(shí)進(jìn)行匹配。目前我司的射頻電源和自動(dòng)匹配器，已經(jīng)廣泛應用于國內各大科研設備制造商。