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應用于半導體設備
射頻電源和自動(dòng)匹配器廣泛應用于半導體的前后端制造工藝,在半導體領(lǐng)域的設備中,射頻電源和自動(dòng)匹配器幾乎所有都是外資進(jìn)口品牌,這類(lèi)制造設備對射頻電源有著(zhù)嚴格的要求,我司射頻電源采用成熟穩定的方案,匹配器采用目前最先進(jìn)的數字式匹配方式,經(jīng)過(guò)客戶(hù)的嚴格測試,產(chǎn)品完全適用于半導體工藝中的等離子清洗,等離子刻蝕設備,成功的替換用戶(hù)端老化的射頻電源和自動(dòng)匹配器。
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